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光刻掩模板
产品特点

基材材质:苏打、石英玻璃          

尺寸:指定图形尺寸设计    

外观标准:无划伤、无磕碰等(目视)    

 

产品性能

光学特性:任意指定波段膜系设计(膜层种类:Ag、AL、Cr、SiO、TiO等)    

技术规格

CD精度:0.5um    

最小线缝:2um    

加工尺寸:4-7寸