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光刻工序
光刻工序
发布时间：2019年11月13日
浏览量：11453次
来源：原创文章
光刻
在50倍显微镜下，数千根线条呈现一致的直角度和锐利的四角，线条精度控制在1.5±0.2μm，360°累计误差在1″以内。
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