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光刻工序
发布时间:2019年11月13日 浏览量:11522次 来源:原创文章

光刻

在50倍显微镜下,数千根线条呈现一致的直角度和锐利的四角,线条精度控制在1.5±0.2μm,360°累计误差在1″以内。